管直径:130phi(耐热玻璃或石英)
管长度:1500mm
加热区:5~ 7区域
*高温度:<800°C
装载量:<400~700g
旋转泵: 400l/min
极限压力:3x10-6Torr(涡轮泵)
极限压力:8x10-5Torr(旋转泵,充满液氮)